MCZ_WLI_banner.jpg
WLI

Objektivy a mikroskopové jednotky pro možnost bezkontaktního 3D mapování

Jednotka WLI

W L I  = White Light Interference

 

Bezkontaktní měření jemné textury povrchu s vysokou přesností použitím metody interference bílého světla

Umožňuje 3D měření tvaru, 3D (i klasické 2D - na přímce) měření drsnosti.

 

Měření a rozlišení v ploše (X, Y) je shodné s klasickou mikroskopií, je dáno zvětšením objektivu.

Rozlišení se pohybuje kolem 1 µm (při zvětšení 5x).

 

Měření výšky (Z) je prováděno pomocí interference, proto přesnost není závislá optickém zvětšení objektivu.

Rozlišení je 4 nm = 0,004 µm (!).

 

Příklady použití a výstupů z jednotek WLI

 

Testovací vzor na polovodiči
Profil drsnosti z kalibrační destičky drsnosti

Opracovaný povrch na hliníku
Vzor (měď) na skleněné podložce

Jednotka WLI na předváděcím stojanu. Stojan je navíc vybaven motorickým křížovým stolem a antivibračními nohami. Vlevo nahoře zobrazení části křemíkového waferu s polovodičovou strukturou v programu MCubeMap ultimate.

Samostatné objektivy WLI

Objektivy WLI jsou součástí rodiny objektivů Mitutoyo a vyznačují se univerzálností použití, vysokou kvalitou a příznivou cenou.

WLI objektivy se používají ve specializovaných aplikacích a výrobních a kontrolních zařízení.

Mitutoyo WLI objektivy mohou být použity jako změna obdobných objektivů jiných výrobců.

Parametry WLI objektivů
WLI Plan Apo Series
Objective lens 2,5X 5X 10X 25X 50X
N.A. 0,14 0,28 0,38 0,50 0,70
W.D. (mm) 13,0 8,0 6,0 3,6 2,0
F (mm) 40 20 10 4 2
R (µm) 2.00 0.98 0.72 0.55 0.39
FOV (mm) with 2/3 inch camera 2,64 x 3,52 1,32 x 1,76 0,66 x 0,88 0,26 x 0,35 0,13 x 0,18
Související